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東莞銘普光磁股份有限公司關于取得發明專利證書的公告
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本公司及董事會全體成員保證信息披露的內容真實、準確、完整，沒有虛假記載、誤導性陳述或重大遺漏。
東莞銘普光磁股份有限公司(以下簡稱“公司”)及全資子公司東莞安晟半導體技術有限公司于近日取得一項中華人民共和國國家知識產權局頒發的發明專利證書,具體情況如下：
證書號：第5952661號
發明名稱：一種磷化銦晶圓的切割方法及控制系統
專利號：ZL 2021 1 0645549.6
專利類型：發明專利
專利申請日：2021年06月10日
專利權人：東莞安晟半導體技術有限公司、東莞銘普光磁股份有限公司
授權公告日：2023年05月09日
專利權期限：20年（自申請日起算）
本發明涉及晶圓處理技術領域，具體涉及一種磷化銦晶圓的切割方法及控制系統，切割方法包括：首先將晶圓放置在箍環繃緊的藍膜上，然后根據晶圓的切割道寬度選取對應的切割刀片，根據晶圓的切割道寬度、晶圓的厚度以及芯片大小設定對應的切割參數，切割刀片按照切割參數對裝配好的晶圓進行自動機械切割，最后對切割好的晶圓進行去離子水清洗后風淋甩干。切割控制系統包括：晶圓裝配器、晶圓切割控制器和晶圓清洗處理器。本發明通過裝配晶圓、切割晶圓和清洗、風淋甩干晶圓實現了對磷化銦晶圓的一次性自動機械切割，有效提高了切割效率；通過切割控制系統實現了整個晶圓切割工藝的自動化加工，提高了晶圓切割的加工精度和芯片的成品率。
上述發明專利的取得不會對公司生產經營造成重大影響，但有利于充分發揮公司自主知識產權優勢，完善知識產權保護體系，對公司開拓市場及推廣產品產生積極的影響，形成持續創新機制，提升公司核心競爭力。
特此公告。
東莞銘普光磁股份有限公司
董事會
2023年5月23日
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